MEMS传感器有什么优势?MEMS未来的技术发展趋势解析

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MEMS传感器是工业宠儿之一，在生活的各个方面都有MEMS传感器的身影。为继续增进大家对MEMS本文将了解传感器MEMS以及传感器的优点MEMS介绍未来的技术发展趋势。如果你介绍一下。MEMS如果传感器感兴趣，不妨继续和小编一起阅读。

一、MEMS传感器的优点是什么？

因为传统的基于机电工艺制成的传感器和执行器在体积、价格和产能上不能适应工业、消费电子等领域的需求，MEMS开始发展。

与传统传感器相比，MEMS传感器在尺寸、性能、智能等方面都有明显的优势。例如，陀螺仪和麦克风，MEMS技术的应用给技术升级带来了很大的飞跃。

比较1：陀螺仪。传统的光纤陀螺仪，虽然体积越来越小，但不可能放入一些电子产品。为了确保性能，这种陀螺仪的低产量和高价格也是可以想象的。

智能手机上使用的陀螺仪是MEMS陀螺仪，如上图所示。它体积小，功耗低，易于数字化和智能化，特别是成本低，易于批量生产，非常适合手机、汽车牵引控制系统、医疗设备等需要大规模生产的设备。

比较2:麦克风。传统麦克风的七八种机械配件可以集成在一起MEMS传感器芯片上。由上图可见，MEMS麦克风放在手机里，体积小，重量轻。

由于芯片制造，一致性好，功耗低，更容易批量生产。MEMS传感器的出现满足了特定产品体积小、性能高的要求。

MEMS整个产业链比较复杂，涉及的厂家很多。产业链上游负责MEMS供应设备设计、材料和生产设备，中游生产MEMS下游使用设备MEMS制造终端电子产品的设备。

我国设计、制造、包装测试厂家也早已开始积极布局，形成了完整的布局MEMS产业链。其设计产业主要分布在环渤海和长三角地区。生产线主要集中在北京、上海、无锡、杭州、苏州、淄博等城市。

二、MEMS技术发展的未来趋势

(1)MEMS 与传感器呈现出多功能高度集成和组合的趋势。由于设计空间、成本和功耗预算日益紧缩，各种敏感元件集成在同一基础上，并制多功能组合，可以检测多个参数MEMS 传感器已成为一种重要的解决方案。

(2)智能传感器和边缘计算。软件正在成为 MEMS 随着各种传感器的进一步集成，越来越多的数据需要处理，软件使各种数据可以集成。MEMS 产品开发将从系统应用的定义出发，开发具有软件集成功能的智能传感器，促进人工智能在传感器领域的广泛应用。

（3）对传感器低功耗和自供能的需求日益增加。随着物联网等应用对传感器需求的快速增长，传感器的使用量急剧增加，能耗也将翻倍。随着传感器的发展，降低传感器的功耗，利用环境能量收集实现自供能。

(4)MEMS 向 NEMS 演变。随着终端设备的小型化和多样化，推动微电子加工技术，特别是纳米加工技术的快速发展，智能传感器向更小尺寸的发展是时代的趋势。 MEMS 类似，NEMS(纳米机电系统)是一种专注于纳米尺度的微纳米系统技术，但尺寸较小。

(5)新敏感材料的兴起。薄膜压电材料具有更好的工艺一致性、更高的可靠性、更高的良率和更小的面积，可用于 MEMS 执行器、扬声器、触摸和触摸界面等。 MEMS 该装置的驱动模式预计将从传统的静电梳齿驱动转向压电驱动。

(6)晶圆尺寸较大。与目前行业普遍相比， 应用的 6 英寸、8 在英寸晶圆制造过程中，较大的晶圆尺寸可以大大降低成本，提高产量，晶圆尺寸的扩大和芯片特征尺寸的缩小相应地促进和相互促进。例如，使用 12 英寸晶圆工艺线制造 MEMS 产品已经出现。

以上是小编这次带来的。MEMS通过本文，希望大家对相关内容有所了解MEMS以及传感器的优点MEMS对未来技术发展趋势有一定的了解。