Fab中有很多道工序,cvd,pvd,photo,etch,wet,cmp,imp,diff,thermal等。photo(光刻)在的多个工艺中都会涌现,今朝也是国产厂商尚无打破的焦点设备之一。光刻既要有踏实的理论常识,又要坚持头脑苏醒,同时具有周密的数据阐发才能,才能把photo这道工艺调好。Photo工艺工程师普通向工艺主管报告请示事情。
光刻工艺工程师的事情内容举例以下:
担任光刻工艺在线非常处置(及格、返工、报废),自力实现批量性非常的围堵考察;
担任光刻设置装备摆设的颐养考证,PE暴光机台Focus Bandjing Overlay的查抄调解,匀胶显影设置装备摆设胶量、液量、EBR的测试跟踪,烘箱、甩干机等设置装备摆设颗粒测试监控,机台一致性数据采集监控;
帮忙出产主管编制、订正岗亭工艺操纵标准等操纵文件,并监视实行情形;担任查抄、指示出产车间7S事情的运营;担任新员工的培训以及审核;担任出产现场巡检,涌现非常时,谐和无关职员实时排遣,并阐发题目缘故原由,提出纠正防备步伐;
担任新产品光刻工艺研发,跟踪现场改良产物工艺;实现光刻暴光分歧台阶遮盖工艺道理研讨,为产物设想供应窗口;
侵蚀考证、侵蚀发雾改良,合营工程师数据采集,侵蚀腐蚀量采集,光刻非常匀胶不良阐发改良和排查非常围堵步伐制订施行;
光刻匀胶机步伐编写和暴光主动位旌旗灯号查找,曾经新工艺开辟研讨项目教训;
担任PE自动化,完成PE暴光由手动对位到主动对位的改变,下降野生本钱;PE光刻版优化,由玻璃版到优化应用石英版,下降机偏返工率;划伤专题,跟踪改良操纵习性,下降工资划伤返工率;SEZ侵蚀6寸裂纹下降,改换蓝膜,进步裂纹率下降本钱溅射台双靶材拓展三靶材考证,经由过程服从和下降本钱操纵。

