常识星球（星球名：与封测手艺社区，星球号：63559049）里的学员问：长途源（RPS）是什么？有甚么上风？许多高端，进步前辈的刻蚀，荡涤机台都市设置长途等离子体源（RPS）。如Applied Materials Centura，Lam Research Kiyo都市用到RPS。RPS的道理是什么？
如上图，
1. Gas
气体：，输出的气体源，一般为惰性气体或工艺气体，用于天生等离子体。
2. Remote Plasma Source
长途等离子体源，这是天生等离子体的地区，等离子体在这个阔别主处置腔的区域内天生。等离子体源能够经由过程或微波来激起气体，构成等离子体。
3. Remote Transport Region
长途传输地区，这是等离子体从长途源传输到主处置腔的通道。等离子体中的活性粒子在这个区域内被输送到主处置腔，而高能离子被滤除，以缩小对处理表面的物理毁伤。
4. Gas Baffle
气体挡板，它能够赞助匀称漫衍等离子体中的活性种，并进一步缩小高能离子的影响，确保主处置腔内的刻蚀或荡涤进程匀称且可控。
5. Main Process Chamber
主工艺腔,这是实践举行刻蚀、沉积或荡涤的地区。经由气体挡板处置后的等离子体活性种在这个腔体内与外貌反映，实现预约的工艺步调。
6. Vacuum Pump
真空泵,用于维持处置腔内的高压环境。真空泵排挤反映副产物和残存气体.RPS的上风？
1，因为高能离子在抵达主处置腔前已被滤除，减少了对资料外貌的物理毁伤。2，拥有高选择性，适用于庞杂布局。3，进步工艺匀称性。
