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一个晶圆盒为什么装25片晶圆?

时间:2024-06-24 17:07:11

先说论断,一个盒装载25片晶圆是因为如下几个首要缘故原由:

优化出产服从和设置装备摆设利用率。

确保分量和体积在可治理的范围内。

吻合自动化处置和搬运的请求。

餍足行业规范和汗青常规。

这类设想均衡了出产、处置、搬运和经济性等各方面的需要,使得12英寸进程既高效又靠得住。如下细致说明

 晶圆尺寸与承载才能

晶圆尺寸:12英寸晶圆的直径约为300毫米。

晶圆的厚度:大约为0.775毫米。

2. FOUP的设想规范

尺寸和分量:FOUP需要在尺寸和分量之间找到均衡,以便于搬运和运输。

3. 工艺和服从思量

标准化:12英寸晶圆创造工艺已普遍标准化,25片晶圆作为一个批次处置能够优化出产服从和设置装备摆设利用率。

自动化处置:FOUP设想为25片晶圆容量,使得自动化设置装备摆设能够高效地处置这些批次,从而进步出产服从。

装载和搬运便利性:25片晶圆的分量在一个正当范围内,便于或工人搬运,同时不会超越机器设置装备摆设的承载才能。

4. 经济性和可靠性

设置装备摆设兼容性:大多数创造设置装备摆设(如暴光机、刻蚀机等)都设想成能处置25片晶圆的批次,如许能够最大限度地应用设置装备摆设,进步出产服从。

稳定性和安全性:装载25片晶圆的FOUP在搬运过程当中拥有精良的稳定性,减少了晶圆在搬运过程当中毁坏的危险。

5. 汗青缘故原由和行业常规

行业常规:从历史上看,晶圆创造行业慢慢从较小尺寸晶圆(如6英寸、8英寸)过渡到12英寸晶圆。在这个过程当中,25片的批次成为行业规范,以便在分歧晶圆尺寸之间坚持必定的连续性和可预见性。

手艺规范:SEMI(国际和资料协会)制订了相干规范,划定FOUP的设想和应用标准,25片装载的设想吻合这些规范,并在环球普遍接纳。

再懂得一下晶圆载具的术语:FOUP、FOSB、Cassette。

1. FOUP(Front Opening Unified Pod)

FOUP是一种用于在内搬运和存储晶圆的容器,特别是用于300mm晶圆。它的设想目标是为了缩小晶圆在搬运过程当中的传染和毁坏。FOUP有一个前闭口,经由过程该闭口晶圆能够被主动装载和卸载,而不需要关上全部容器。FOUP平日配备有密封盖,以保障外部环境的清洁。

使用场景:在晶圆创造过程当中,FOUP被普遍用于自动化设置装备摆设(如传输机器人)之间的晶圆转移。它们适用于需求高洁净度环境的工艺步调,比方光刻、刻蚀和。

2. FOSB(Front Opening Shipping Box)

FOSB类似于FOUP,但首要用于晶圆的长距离运输。设想目标是在从一个工场到另一个工场的运输过程当中维护晶圆。FOSB也拥有前闭口设想,但平日更加牢固,以应答运输过程当中的振动和打击。

使用场景:晶圆创造完成后,需求从一个创造地址运送到另一个地址举行进一步加工或组装时应用FOSB。FOSB的密封功能可以或许确保在运输过程当中的清洁环境。

3. Cassette(晶圆盒)

Cassette是较晚期的晶圆载具,用于承载和转移较小尺寸的晶圆(如200mm及如下)。平日设想为开放式布局,可以或许装载多个晶圆。轻易被手动操纵,也能被自动化设置装备摆设应用。

使用场景:用于较晚期的设置装备摆设和工艺中,仍在一些200mm晶圆出产线上应用。适宜手动处置和装载的场景,例如在荡涤、检测等工艺步调中。

小结一下:FOUP首要用于300mm晶圆的外部搬运和存储,拥有前闭口设想。FOSB首要用于晶圆的长距离运输,设想牢固,确保运输过程当中的洁净度。Cassette用于较小尺寸晶圆的搬运和存储,开放式设想,适宜手动和主动操纵。

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