晶诺微亮相慕尼黑光博会，为半导体工艺提供国产先进量检测设备

2024年3月29日，中国上海——在与Semicon China同期举行的2024慕尼黑上海光博会上，晶诺微（上海）科技无限公司（如下简称晶诺微）首度现身行业展会，将公司自立研发的光学量测设置装备摆设和半导体量检测设置装备摆设展示给业余参会者，且在现场睁开深刻地互动交换。

伴有半导体市场的继续扩增以及国产化历程的不息加速，半导体量检测设置装备摆设行业展现出发达进展的精良态势。于手艺层面而言，半导体量检测设置装备摆设不息完成手艺打破与立异，高精度、高速度、高稳定性成为当下甚至将来量检测设置装备摆设的关头特色，在线、自动化、非打仗式、纳米级丈量乃是首要偏向，其不但提高了半导体创造的精度与服从，同时还降低了出产本钱，为半导体家当的敏捷进展供应无力支持。于市场需要层面，伴有5G、物联网、野生智能等全新ICT信息手艺的高速前进，半导体市场需要继续上扬，进而促使量检测设置装备摆设市场得以扩充。

半导体量检测直通晶圆创造和芯片封装的全部进程。量检测的首要感化在于生产出吻合关头物理参数的芯片并对工艺举行优化，从而可以或许倏地精确地举行工艺操纵以及良率治理。量测首要涵盖薄膜资料的厚度、光刻过程当中关头尺寸的丈量、晶圆厚度及弯翘曲丈量等等；检测首要包括无图形缺点、有图象缺点、掩模版缺点、缺点复检等等。

光学量测设置装备摆设

QUASAR R100是一款体积玲珑的光谱反射式膜厚、折射率丈量仪器，操纵简略，极易上手，普遍应用于半导体、太阳能、LED、OLED、液晶、聚合物镀膜及科研实验室镀膜等畛域。QuasarR100软件领有厚实的资料数据库，客户还能够经由过程软件及自带数据库对资料、菜单举行治理，并拥有厚实的数据检察、统计性能。

QUASARE100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪，它为客户供应加倍正确和加倍稳固的厚度和折射率丈量，普遍应用于科研、半导体、液晶、太阳能创造等畛域，适用于对厚度和折射率丈量有更高精度请求的使用场景。

半导体量检测设置装备摆设

晶诺微的半导体量测设置装备摆设包孕光学薄膜丈量设置装备摆设QUASAR S系列和晶圆厚度及翘曲度丈量设置装备摆设ZMET，检测设置装备摆设包孕缺点检测设置装备摆设PULSAR系列。

QUASAR S系列应用于集成电路芯片创造出产线上的光学膜厚丈量设置装备摆设，适用于6、8、12吋生产线，产物手艺成熟，丈量精度高，丈量速度快，技术上已达到或逾越国际同类合作产物程度，可完成纳米级厚度丈量。

半导体中缺点检测是半导体创造过程当中弗成或缺的环节，关于进步产物品质、下降本钱、进步出产服从、保证安全性和促成手艺前进都拥有首要意思。晶诺微缺点检测设置装备摆设PULSAR系列包孕L系列和H系列，PULSAR L系列及PULSAR H系列是应用于电子、半导体工业畛域的如WLP（晶圆级封装）、PLP（面板级封装）、晶圆创造前端工艺等，可完成从低分辨率到高分辨率的缺点检测、分类、定位丈量等功能。

本次参展2024慕尼黑上海光博会是晶诺微首次在行业展会表态，公司自2021年8月成立以来，专一于光学检测和丈量相干畛域，致力于设想、研发、出产创造及手艺办事。其作为设置装备摆设、仪器生产商，经由过程供应定制化的设置装备摆设及工艺解决计划，确切餍足了客户需要，胜利完成了客户出产服从的进步、产物良率的晋升以及出产本钱的下降。在将来，晶诺微/ZENO将连续秉承立异理念，不息寻求卓着，为行业进展注入新的活气，助力相干家当迈向更高的台阶。

对于晶诺微/ZENO

晶诺微（上海）科技无限公司（简称晶诺微/ZENO）成立于2021年8月，是一家处置与光学检测和丈量（Metrology and Inspection）相干的设想、研发、出产创造以及相干手艺办事的设置装备摆设、仪器生产商，为客户供应定制化的设置装备摆设及工艺解决计划，无效晋升客户的出产服从、晋升产物良率并下降出产本钱。公司研发团队由光学丈量、检测畛域拥有厚实研发、创造教训的手艺人材构成，具有深挚的手艺积存以及行业教训公司聚焦于电子、研发、半导体等相干畛域的丈量、检测手艺，致力于打造进步前辈的仪器设置装备摆设产物。