近期，国内外多家单位在扩径上获得打破：
● 丰田合成、大阪大学等：已胜利制备高质量6英寸GaN衬底，并开发了8吋长晶设置装备摆设。
● 镓数：已顺遂出产4吋氮化镓单晶衬底，正在霸占6吋及更大尺寸的单晶成长。
● 住友化学：4英寸GaN衬底已量产，6吋衬底正在开辟中。
丰田合成、大阪大学等胜利制备6吋GaN衬底
3月8日，据日媒报导，大阪大学、丰田合成和松下控股公司松下高清三方分工的GaN衬底开辟项目取得了新进展，已胜利制备高质量6英寸GaN衬底。
据介绍，丰田合成借助了大阪大学新开辟的手艺胜利制备缺点密度为104/ cm2的6英寸GaN衬底，该手艺连系了Na助焊剂法和多点晶种法，兼具高质量及易扩径的好处。另外，以该手艺为根底，他们已开发了兼容8英寸或更大尺寸的晶体成长设置装备摆设，用于将来进一步开辟大尺寸衬底。
然则，在应用该手艺制备GaN衬底时，一个晶体成长约莫需求一个月的时候，其实不适用于大规模出产。是以丰田合成等正在创建一种高产的大规模出产手艺，将连系其余晶体成长手艺晋升生产力。
镓数：已制备4吋GaN衬底
3月6日，据阜阳师范大学科研处新闻，校科研处于3月1日到访镓数氮化物家当研究院，就“4英寸氮化镓单晶衬底制备关头手艺”项目睁开调研。
据悉，该GaN项目为阜阳市校分工家当手艺研究院项目，今朝镓数中试线可以或许顺遂出产4英寸氮化镓单晶衬底，6英寸和更大尺寸的氮化镓单晶尚在手艺攻坚过程当中。
据“里手说三代半”懂得，镓数早在2022年就控制了2英寸GaN单晶衬底量产手艺——
2022年6月，镓数公示了其氮化镓单晶衬底项目的环评表。据悉，该项目将分3期设置装备摆设，一期设置装备摆设10条氮化镓单晶衬底生产线，二期设置装备摆设20条氮化镓单晶衬底生产线，三期设置装备摆设30条氮化镓单晶衬底生产线，三期完整达产后将构成年产18万片2英寸氮化镓单晶衬底的出产才能。
住友化学：4吋GaN衬底完成量产
往年1月，据日媒报导，住友化学曾经胜利创建 4 英寸氮化镓衬底的量产技术，将从2024 年开端与客户谐和量产事宜，还将供应GaN on GaN垂直型内涵产物。
另外，住友还发布将在2024年后开端供应6英寸GaN样品，旨在将2026财年的量产目的日期提早，踊跃进步产量。
2月26日，住友化学在2024 APEC展会上展出了4英寸氮化镓衬底和高纯度GaN-on-GaN内涵片；并透露了6吋衬底的开辟历程——经由过程改良2英寸氮化镓衬底的晶体成长和加工手艺，餍足加工的尺寸请求，今朝正在致力于下降缺点进步晶体品质。
据介绍，住友化学的氮化镓营业将在茨城工场睁开，该工场于2003 年从日立金属方收买而来，住友将经由过程全资子公司Scioks尽力加速GaN研发历程。
