监控工业系统中的振动可以提供有关设备健康状况的宝贵数据，并可以节省成本的先发制人的维护，但是有许多不同的方法来构建这样的系统。可以使用简单的压电振动传感器，但需要数据采集和信号处理来捕获和分析数据。微机械（MEMS）在汽车安全气囊和智能手机和平板电脑跌落传感器等应用中的应用越来越受欢迎，这大大提高了成本，并开启了这些传感器在中的应用。
这些MEMS加速度计采用标准CMOS工艺技术制造，可以大批量生产，也可以与传感器一起集成。这导致单封装设备可以提供沿所有三个轴的振动测量，以及时域和频域中的复杂信号处理。这使设计人员能够轻松开发收集各种数据的传感器系统，并识别许多不同类型的故障机制，提醒操作员注意各种工业设备中的潜在问题，以便节省成本的先发制人的维护。
工业机械的大多数振动包含低于1 kHz的频率，但相关的信号分量通常存在于更高的频率，这是选择振动传感器的关键考虑因素。如果已知旋转轴的运行速度，则感兴趣的最高频率可以是运行速度与支撑轴的轴承数量的乘积的谐波，并且围绕这些谐波会出现问题。然而，对于其他系统，故障模式的频率可能是未知的，因此可能需要更复杂的信号分析。
设备的类型决定了应用的高频要求，因此决定了传感器的选择。提供足够的频率范围，同时满足灵敏度和幅度范围要求。频率范围较低的传感器往往具有较低的电子噪声基底，从而增加了传感器的动态范围。对于应用而言，这个因素可能比高频测量更重要。
高度集成的MEMS的一个例子是ADI公司的ADIS16228 iSensor。这是一个完整的振动传感系统，它将三轴加速度传感与先进的时域和频域信号处理相结合。时域信号处理包括可编程抽取滤波器和可选择的窗口函数，而频域处理包括每个轴的512点实值FFT，以及FFT平均，这降低了噪声基底变化以获得更精细的分辨率。 14个记录的FFT存储系统使用户能够跟踪随时间变化并使用多个抽取设置捕获FFT。
20.48 kS采样率和5 kHz平坦频带提供适合许多机器运行状况的频率响应应用。内部时钟在所有操作期间驱动数据采样和信号处理系统，从而无需外部时钟源。数据捕获功能有三种模式，可提供多种选项以满足许多不同应用的需求，实时模式可在一个轴上直接访问流数据。 SPI和数据缓冲结构提供了对数据输出的便捷访问。 ADIS16228还提供数字和数字电源测量，以便为传感器节点本身提供诊断
图1：ADI三轴MEMS振动传感器的机械元件。
ADIS16228中的数字振动传感始于每个轴上的MEMS加速度计核心。这将速度的线性变化转换为代表性的电信号，使用如图1所示的微机械系统。该系统的机械部分包括两个不同的框架（一个固定，一个移动），其具有一系列板以形成可变差分电容网络。当经历与重力或加速度相关联的力时，移动框架相对于固定框架改变其物理位置，这导致的改变。微小弹簧将移动框架系在固定框架上，并控制加速度和物理位移之间的关系。移动板上的调制信号通过每个电容路径进入固定框架板并进入解调电路，解调电路产生与作用在器件上的加速度成比例的电信号。图2显示了简化的框图。 ADIS16228具有信号处理级，集成了时域数据捕获，数字抽取/滤波，窗口化，FFT分析，FFT平均和记录存储。
