Mems电容式加速度计的种类（三）

Mems电容加速度计的类型(3)
随着科学技术的发展，加速度计可以从原来的大尺寸逐渐发展到小型化，可以应用于各行各业，提高性能水平，大大提高了人们的生活、科技、住房和交通的效率和安全性。
Mems加速度计分为六类
电容式加速度计
压阻加速度计
压电加速度计
谐振加速度计
隧穿加速度计
热对流加速度计

电容式加速度计的结构可分为三种结构：
1、跷板摆式加速度计
2.梳齿硅微机械加速度计
3.三明治摆式电容式加速度计

跷跷板摆式电容式加速度计又称扭摆式硅微加速度计，因其敏感质量绕弹性梁扭转形状为跷跷板而得名。其典型代表是美国实验室和1990年开发的微机械加速度计，其敏感质量与以下玻璃基板形成差动检测电容器。由于质量板位于承扭梁两侧的质量和惯性矩不相等，当输入垂直于质量板的加速度计时，质量板将绕支撑梁旋转，从而增加相应的一对差电容器，沿敏感轴输入的加速度可以测量差动电容值。