SCOUT 薄膜分析软件

SCOUT是适合的 Windows 7/8/10 操作系统的薄膜分析软件。大多数客户通常使用它来比较和模拟光谱，从光学测量中提取信息。模拟是基于物理模型，即光谱是基于材料常数（复折射率）和几何形状（层厚）的假设计算的。参数拟合成功后，得到光学常数和层厚值。

结果与光学模型的质量直接相关。原厂在光学常数模型的开发上投入了大量的工作和经验。此外，整合了表面粗糙度或深度梯度等典型薄膜缺陷处理理论。成功分析的另一个因素是 SCOUT 具有与真实光谱仪相同的错误能力：可考虑射角分布、有限光斑大小或偏差的影响。

SCOUT可用于科研或工业实时生产控制。它可以自行测量、驱动光谱仪硬件或连接到测量系统以接收测量光谱进行分析。世界上有一些光谱仪公司SCOUT作为薄膜分析的综合分析工具。

可计算以下类型的光谱：

? 反射率(或其任何用户自定义函数)
? 透光率(或其任何用户自定义函数)
? 吸光度(或其任何用户自定义函数)
? ATR(或其任何用户定义的函数)
? 椭圆光度法
? 光致发光
? 电致发光

SCOUT — 光学模型

光学常数模型

? 经典的自由载流子Drude模型
? 扩展自由载流子Drude模型
? 谐振子模型
? brendel扩展振子模型
? Kim扩展振荡器模型
? Leng振子模型
? 非晶材料OJL带间跃迁模型
? 晶态材料的Tauc-Lorentz带间跃迁模型
? 用户定义表达式的光学常数(包括定义柯西模型)
? 输入光学常数

各种不均匀材料的有效介质理论

? Maxwell Garnett (M G) 理论
? Bruggeman理论
? Looyenga 理论
? Bergman 表征

分层传播波

? 分波相干或非相干叠加
? 简单定义超晶格
? 修正粗糙表面散射损失
? 不均匀厚度层的有效平均算法-理想状态下的相干和非相干叠加
? 对光学属性的简单定义逐渐改变
? 任意数量的层
? 层叠任意数量

可计算

? 反射(或其任何用户自定义函数)
? 透光率(或其任何用户自定义函数)
? 吸光度(或其任何用户自定义函数)
? ATR(或其任何用户自定义函数)
? 椭圆光度法
? 图案样品的光谱平均
? 光致发光
? 致发光
? 光谱的任意数量
? 吸收某一层
? 层组的片电阻
? 深度依赖于吸收
? 深度依赖电场

SCOUT — 参数拟合

? 鼠标驱动滑块运动直观展示visual”参数变化
? 预扫描多维参数(网格拟合)
? 自动参数拟合，以调整模拟测量光谱
? 全局主参数控制任意数量的模型参数，使参数耦合
? 同时拟合多个光谱，如反射率和透射率
? 使用一系列适应参数集的用户定制适应策略
? 自动批量拟合输入光谱集

SCOUT — 其他功能

? 在主窗口显示光学常数或参数，任意位图和元文件都可以作为背景图片、插图和解释。
? 输出到打印机，元文件，位图，PDF文件或剪贴板
? 集成计时器、触发事件和执行用户定义动作的自动化脚本实现了强大的自动化功能。除了实现复杂的计算和实时动画外，您还可以自动收集数据：检测新样本的到达，在指定位置获取光谱，并将结果存储在数据库中。
? 集成模块解决光谱仪等硬件组件(OceanOptics、HunterLab、tec5、Avantes、JETI)、1~3D驱动器(移动物体)和传感器(温度、颜色)。
? 通过OLE远程控制自动化SCOUT：使用MS Word、MS Excel、LabView或Windows Scripting Host (WSH)或Bruker OPUS VB-Scripts创建自动报告和批处理操作
? 大型数据库包括光学常数
? SCOUT与MySQL和Microsoft SQL server结合数据库，交换完整的程序配置、光学常数、层堆栈、光谱和样本信息

SCOUT — 屏幕截图

SCOUT — 主窗口启动

光学常量模型教学

同时拟合8个光谱

批量拟合示例：玻璃镀银

批处理控制窗口显示结果