SECS/GEM 协议开发
时间:2022-09-03 13:00:01
SECS/GEM协议网站 www.secsgem.cn
1 HSMS
1.1高速SECS消息服务(HSMS)它为独立制造商提供了一种实现相互连接和相互操作的方法,而无需具体知识。
1.2 HSMS旨在作为SEMI E4(SECS-I)替代产品用于需要高速通信或简单点对点拓扑的应用。 SEMI E4(SECS-1)仍可用于不必要HSMS在这些和其他属性的应用中。
1.3 HSMS还可以替代SEMI E13(SECS用于新闻服务)TCP / IP优先于OSI的应用。
1.4 HSMS这些附属标准的目的是进一步规定其使用细节或限制其在特定应用领域的使用
2 SECS I
2.1 修改历史-这是自我 1980 年 SECS-I 自首次发布以来,第一次重大修订。SECS-I 尽管有一些重要的补充,但最初的意图几乎没有改变。 附录 1 总结了这些变化。本规范与日本电子工业发展协会设备通信委员会合作。 12 合作制定。
2.2 意图-本标准为独立制造商提供了一种生产设备和/或主机的方法,它们可以与/或主机连接,而无需具体知识。
3 GEM
3.1 GEM定义所有半导体制造设备SECS-II实施标准。 GEM该标准定义了一套支持半导体设备制造商制造自动化程序的通用设备行为和通信功能。 设备供应商可以提供未包含的内容GEM中的其他SECS-II只要附加功能不匹配GEM可以定义任何行为或功能冲突。 这种添加可能包括在内SECS-II新闻、事件收集、报警、远程命令代码、处理状态、可变数据项(数据值、状态值或设备常量)或其他特殊功能(蚀刻器、步进器等) 。)或具体设备实例。
3.1.1 GEM旨在为设备制造商和设备供应商带来经济效益。 设备供应商受益于满足大多数客户的单一开发和销售SECS-II接口能力。 设备制造商受益于所有制造设备SECS-II接口的增强功能和标准化。 该标准化降低了设备供应商和设备制造商的软件开发成本。 通过降低成本和增加功能,设备制造商可以更快、更有效地实现半导体工厂的自动化。 GEM该标准提供的灵活性也使设备制造商能够在一般行业框架内实现独特的自动化解决方案。
3.1.2 GEM本标准旨在指定以下内容:
?1.半导体制造设备SECS-II在通信环境中在通信环境中,
?2.描述半导体制造环境所需的信息和控制功能,
?3.半导体制造设备的基本设备SECS-II定义通信能力,
?4.当SECS-II在提供多种可能的方法时,一致的操作方法,以及实现有用通信功能所需的标准信息对话。
3.1.3 GEM标准包含两类要求:
?1.基本的GEM要求和
?2.额外GEM功能要求。
3.1.4 GEM基本要求构成了创业板标准的基础。GEM该功能为某些类型的工厂自动化或特定类型的设备提供所需的功能。GEM基本要求等GEM详细列表的功能。
3.1.5设备供应商应与客户合作,确定特定类型的设备应实施哪些额外设备GEM功能。 由于GEM标准中定义的功能是专门为满足半导体制造商的工厂自动化要求而开发的。因此,预计大多数设备制造商将需要适用于特定类型的设备GEM功能。 由于工厂自动化策略的不同,一些设备制造商可能不需要所有的GEM功能。
4. 产品介绍
金南瓜SECS是最适合全自动智能设备的选择。 DMS SECS具有怪兽级的强劲性能,全面升级的高适应性,易用友好的SECS工具,利于快速开发部署。
金南瓜SECS兼容运行在独自工控机,或与设备软件集成在一台工控机,让用户灵活应对各种使用场景。
5. 软件清单及显示
软件目录清单
5.1软件清单
1 SECS/GEM用户
提供EquipViewApp.exe和HostViewApp.exe两个测试软件对应的场景是设备端和主机EAP端模拟。
2. PLC SECS/GEM用户
提供EquipViewApp.exe、 PlcSecsControlView.exe和HostViewApp.exe软件,对应的场景是设备端,PLC连接器和主机EAP端模拟。
3. GEM300用户
额外提供EquipViewApp300.exe和HostViewApp300.exe测试软件,分别对应GEM300设备端和主机EAP端模拟。
5.2 模拟软件展示
1. 设备端模拟软件EquipViewApp
5. 其他软件
- 数据重置软件ResetTool.exe,在重大更新软件时候,首先运行一次软件即可
- 后台服务进程JNG_Server.exe
5.3 其他文件介绍
- SecsConfig 文件夹中主要的文件
- GUID.txt为设备资料。(无许可时运行一次JNG_Server.exe时候即可生成GUID.txt)
- licenses.ini 为运行许可,如果该文件缺少或者到期,将无法运行金南瓜SDK软件
- 配置文件:
- PlcSecsData文件夹为PLC的配置档,保存客户与PLC通讯的各类数据。
6. 开发环境
6.1 编程语言
主流语言 C、C++、C#、Labview
6.2 运行环境
Windows XP SP3
windows 7
windows 10
6.3 开发工具
LabVIEW、VC6.0、QT、Visual Studio 2008及以上
6.4 硬件环境
硬件:
PC工控机
接口:
6.5 运行许可
运行许可与设备主机MAC地址绑定
更换硬盘、内存条、光驱及操作系统等不影响许可证问题
1. 加密狗方式:
将加密狗插入USB接口即可
2. 文件许可方式:
- 运行“licenseClient.exe”生成GUID
- 将生成的GUID.txt发送给厂商
- 运行 “licenseClient.exe” 将license写入设备中。
性能
项目 |
参数 |
系统 |
Window XP、7、10、Server 2008、Server 2012、Server 2016 |
CPU处理器 |
任意英特尔处理器 嵌入式低至Atom3930(可运行在倍福PLC) |
内存 |
2GB及以上 |
硬盘 |
32GB及以上 |
接口 |
1个网口 |
金南瓜配套模块
项目 |
参数 |
系统 |
Window 7/10专业版 |
CPU处理器 |
J1900 |
内存 |
英睿达/三星8GB |
硬盘 |
三星/英特尔250/500GB |
接口 |
5个R232、1个485/422/232、7个USB2.0、1个USB3.0、1个HDMI、1个VGA |
网口 |
2个 |
尺寸 |
200×200×69mm |
重量 |
1.8KG |
环境 |
适用温度 -20-60℃ |
EMC |
CE/FCC, CCC, BSMI |
安全 |
CCC, UL, BSMI |
输入电压 |
DC 12V |
金南瓜的 PLC SECS 产品为将 SECS/GEM 添加到 PLC 提供了快速的解决方案。PLC SECS通讯器提供了一个图形用户界面,您可以在其中映射 PLC 地址,点击保存运行,SECS/GEM 解决就添加完成了。
项目示例,直接从 PLC SECS 构建和部署
点胶设备:Siemes S7 1500(modbus)
晶圆清洗机:Omron CJ (FINS)
掩模清洗机: Seimes S7 1500(modbus)
PCB板搬送设备 • Melsec Q (MX)
Lam CVD设备sensor采集:自定义协议
简单的解决方案可在俩三天内轻松完成。
在PLC SECS 编辑器中,您只需变量配置窗口定义变量,通过设备PLC数据地址将它们链接到 PLC。
您只需要做一个数据列表映射,它包含您希望提供给主机 (VID) 的变量列表、警报 (ALID) 和事件 (CEID) 列表。
如果您不太熟悉 SECS/GEM,那么 VID 是您允许主机读取的数据,而 ALID 是设备警报,CEID 是“收集事件”,设备发生的标志性动作,如开始、停止、上料等动作。
通常最重要的数据这些与批次完整性、装载批次、卸载批次、批次开始、批次结束和工艺程序(配方)更改有关。在处理批次时提供事件也很有用,从站到站移动,门打开/关闭等。
版本区别
功能 |
SECS Driver |
SECS/GEM基础版 |
SECS/GEM高级版 |
HSMS连接 |
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SECS自定义SxFy消息 |
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√ |
状态反馈 |
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√ |
HSMS状态管理 |
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自动断线重连 |
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√ |
超时处理 |
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State Models |
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√ |
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Equipment Processing States |
√ |
√ |
|
Host Initiated S1F13/F14 Scenario |
√ |
√ |
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Event Notification |
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√ |
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On-Line Identification |
√ |
√ |
|
Error Messages |
√ |
√ |
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Documentation |
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Control (Operator Initiated) |
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√ |
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Establish Communications |
√ |
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|
Dynamic Event Report Configuration |
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√ |
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Data Variable and Collection Event Namelist Requests |
√ |
√ |
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Variable Data Collection |
√ |
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Trace Data Collection |
√ |
√ |
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Status Data Collection |
√ |
√ |
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Alarm Management |
√ |
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Remote Control |
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√ |
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Equipment Constants |
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Process Program Management |
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Material Movement |
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Equipment Terminal Services |
√ |
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Clock |
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Limits Monitoring |
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√ |
|
Spooling |
√ |
√ |
|
Control (Equipment-Initiated) |
√ |
√ |
功能清单
GEM COMPLIANCE STATEMENT |
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FUNDAMENTAL GEM REQUIREMENTS |
MPLEMENTED |
GEM-COMPLIANT |
State Models |
■Yes □No |
■Yes □No |
Equipment Processing States |
■Yes □No |
|
Host Initiated S1F13/F14 Scenario |
■Yes □No |
|
Event Notification |
■Yes □No |
|
On-Line Identification |
■Yes □No |
|
Error Messages |
■Yes □No |
■Yes □No |
Documentation |
■Yes □No |
|
Control (Operator Initiated) |
■Yes □No |
|
ADDITIONAL CAPABILITIES |
IMPLEMENTED |
GEM-COMPLIANT |
Establish Communications |
■Yes □No |
■Yes □No |
Dynamic Event Report Configuration |
■Yes □No |
■Yes □No |
Data Variable and Collection Event Namelist Requests |
■Yes □No |
■Yes □No |
Variable Data Collection |
■Yes □No |
■Yes □No |
Trace Data Collection |
■Yes □No |
■Yes □No |
Status Data Collection |
■Yes □No |
■Yes □No |
Alarm Management |
■Yes □No |
■Yes □No |
Remote Control |
■Yes □No |
■Yes □No |
Equipment Constants |
■Yes □No |
■Yes □No |
Process Program Management |
■Yes □No |
■Yes □No |
Material Movement |
■Yes □No |
■Yes □No |
Equipment Terminal Services |
■Yes □No |
■Yes □No |
Clock |
■Yes □No |
■Yes □No |
Limits Monitoring |
■Yes □No |
■Yes □No |
Spooling |
□Yes ■No |
□Yes ■No |
Control (Equipment-Initiated) |
■Yes □No |
■Yes □No |