《炬丰科技-半导体工艺》石墨烯生物传感器的制作工艺

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》

文章：石墨烯生物传感器的生产工艺

编号：JFKJ-21-189

作者：炬丰科技

摘要

本文研究了用于电解制造的洁净室工艺，用于生物传感的晶片尺度石墨烯场效应晶体管。我们的制造过程克服了两个主要问题：去除石墨烯模式化后的表面残留物和金属接触的介质钝化。除周围区域外，无残留石墨烯转移过程是通过使用预转移来保护整个晶圆石墨烯薄膜在其上转移和随后绘制的沟道、源极和漏极。覆盖物溶解后，可获得干净的网格电极。多层二氧化硅/ SiNx利用了介质钝化SiO2对石墨烯和基材的良好附着力材料和SiNx优异的抗渗性。它阻碍了自然成核中心和断裂缺陷的传播，保护从长期暴露到所有共同点东西。生物化学工作中发现的溶剂与常用的聚合物钝化相反。由于湿蚀刻不允许在所需的水平上控制光刻过程，即反应离子蚀刻提出了牺牲金属停止层的钝化过程，并应用于钝化图形层。该过程实现了晶圆规模上的高重现设备。

关键词：石墨烯；精密加工;生物传感器；介质钝化;干净的表面

介绍

石墨烯自石墨剥离获得石墨烯以来，由于其性能优异，如高载流子迁移率、低本征电子噪声、化学稳定性、对附近电荷的高灵敏度烯已被大量探索和应用。 记录地表体积比。石墨烯已被用作具有高灵敏度的各种电子生物传感系统。电化学传感器和场效应晶体管是最常见的。石墨烯利用石墨烯对电场和电荷的敏感性，在低工作状态下产生传感器输出信号电压。

材料和方法略

讨论与结果略