微机电系统导论
时间：2022-10-26 19:30:01
题目：
摘要：
关键词 MEMS， 惯性导航， 传感器
历史简介
MEMS发展开辟了新的技术领域和产业。它们不仅可以降低机电系统的成本，还可以完成许多大型机电系统无法完成的任务。正是由于MEMS传统传感器具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强等优点，MEMS它在航空、航天、汽车、生物医学、环境监测、军事和几乎所有人接触的领域都有着广阔的应用前景。例如，微加速度计可用于汽车安全气囊。当汽车发生碰撞等交通事故时，汽车的加速度将非常大。此时，可以通过微加速度计判断是否发生碰撞事故。如果发生交通事故，微加速度计可以发出指令，及时弹出安全气囊，保护司机和乘客的安全。另一个例子是，由微惯性传感器及其组成的微惯性测量组合系统可用于制导系统、卫星控制系统、汽车自动驾驶仪、汽车防抱死系统（ABS）、微流量系统和微分析仪可用于微推进和伤员救援。MEMS该系统还可用于医疗、高密度存储和显示、光谱分析、信息收集等。目前尖端直径已成功制造5μm能夹起红细胞微镊子，3mm能够在磁场中飞行的大小汽车，如蝴蝶大小的飞机。
分类
目前，MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领域，它与不同的技术相结合，往往会产生新的产品MEMS设备。正因为如此，MEMS设备的类型非常复杂。根据目前的研究，除了信号处理的集成电路部件外，微机电系统主要包括以下类别：
(1)微传感器。微传感器有很多种。&#x
