MEMS传感器领域关于薄膜性能的中国国家标准，“带状薄膜抗拉性能的试验方法”由北京智芯传感等单位发布并...

我们知道微机电系统（MEMS）传感器是一种采用微电子和微机械加工技术制造的新型传感器。与传统传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适合批量生产、易于集成、智能化的特点。同时，微米量级的特性尺寸使其能够完成一些传统机械传感器无法实现的功能。

绝大部分MEMS为了保证良好的使用效果，传感器一般应具有较高的防水和密封能力。如果没有防水性能，就有可能MEMS传感器的敏感部件会受到不同程度的潮湿。即使暂时不损坏，也会对传感器的性能和检测数据的准确性产生一定的影响，影响传感器的使用寿命。

为了保证MEMS正常使用传感器时，必须进行防水密封处理。人们通常使用特殊性能的薄膜来保护它MEMS传感器要求薄膜材料具有良好的防水透气性，不仅要避免水蒸气雾，还要平衡密封设备内外腔的应力，防止灰尘等小颗粒通过，避免影响数据准确性的颗粒，确保在恶劣环境下仍能保持MEMS传感器内部元件敏感精确，传递正确准确的信息数据。

薄膜材料对传感器如此重要，其性能稳定性直接影响传感器的稳定性。带状薄膜抗拉性能试验方法应运而生，由北京智芯传感科技有限公司提出并实施。该标准已成为MEMS中国传感器薄膜性能测试的国家标准之一(国家标准号:GB/T 3846-2020)nm也可用于长度与厚度比大于300的样品MEMS带状薄膜结构的质量监测。

智芯传感带状薄膜抗拉试验方法 样品采用与实际设备相同的加工工艺，温度范围控制在15℃~35℃相对湿度保持在20%~大气压力保持在86%kPa~106kPa之间。试验设备是由驱动器、负载尖端、对准装置、力和位移传感器组成的机械测试系统，如纳米压痕仪。

首先将包含样品的衬底粘贴在样品夹具上，将样品放置在试验台上，然后调整位置，使负载尖端平行于样品表面的几何中心，用光学显微镜检查；当负载尖端接触条带时，可以通过光学显微镜观察带状结构的小变形。三个表面位置的平均值视为样品条带的参考位置；在恒定位移速率下施加外力，直至条带断裂。

根据不同样品选择施加的外力大小距。对应变速率不敏感的材料通常选择移动速率L x 10-4/s或L x10-3/s。记录所施加的外力（F）样品的尺寸和挠度（w）。根据从试验结果中获得样品的实际应力和挠度，应根据试验设备的具体情况进行相应的补偿。

计算以下性能参数：

智芯传感“ 带状薄膜抗拉性能试验方法的报告包括执行标准、试验环境、样品标识、样品制造工艺、样品材料、尺寸和测量方法，以及测量属性和结果（弹性模量、抗拉强度和应力应变曲线）MEMS最有效的试验方法之一是传感器之一。

该方法已于2020年3月6日发布，并在2020年10月1日正式实施。

智信传感与北京大学、中北大学等在微机电系统领域具有丰富学术和理论基础的大学和企业合作，通过不断的创新和努力，为加强中国传感器领域理论与实践的结合做出了一定的贡献！