压力传感器的误差构成及减小误差办法

压力传感器的误差主要由偏移误差、灵敏度误差、线性误差和滞后误差组成：
1.灵敏度误差与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值，灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值，则灵敏度误差将是压力的递减函数。这种误差的原因是扩散过程的变化。 。
2.偏移误差。变换器扩散和激光调节修正的变化会产生偏移误差，因为垂直偏移在整个压力范围内保持恒定。
3.滞后误差：在大多数情况下，由于硅片具有较高的机械刚度，可以完全忽略滞后误差。一般来说，只有在压力变化较大的情况下才考虑滞后误差。
4.线性误差。这是一个对初始误差影响较小的因素。这种误差的原因是硅片的物理非线性，但对于带放大器的传感器，也应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹曲线或凸曲线。
校准可以消除或大大减少这些误差，补偿技术通常需要确定系统实际传输函数的参数，而不是简单地使用典型值。在补偿过程中可以使用电位计、可调电阻和其他硬件，而软件可以更灵活地实现这种误差补偿。
通过消除传递函数零点的漂移，可以补偿偏移误差，称为自动归零。
由于校准压力严格为0，差动传感器的零压力校准非常准确。另一方面，压力不为0时的校准精度取决于压力传感器或测量系统的性能。偏移量校准通常在零压下进行，特别是在差动传感器中，因为在标称条件下，差动压力通常为0。对于纯传感器，偏移校准更加困难，因为它要么需要一个压力读取系统来测量环境大气压力下的校准压力值，要么需要获得预期压力。